通化碳化硅石墨坩埚尺寸规格齐全「多图」

石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用，直拉单晶炉的热系统，也就是所谓的热场，是指为了熔化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。热场一般包括（石墨材料）压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。

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由于单晶炉石墨热场大多是采用等静压石墨来加工，对于石墨制品加工企业来说石墨材料要比加工工艺所占的比重大一些，那么提高石墨热场的利用率是石墨制品加工企业都要考虑的问题，因此在报价给看客户报价的时候除了考虑石墨原材料理化指标，更多的还要考虑石墨热场的寿命。在真空炉中热场是决定单晶硅好坏的决定因素，通过对石墨热场的了解，决定热场石墨组件的好坏的因素有很多，碳化硅石墨坩埚尺寸，其中石墨原材料的选择和加工工艺上非常关键。

1、特殊的热冲击电阻：石墨具有良好的热冲击电阻，即当温度突然变化时，热膨胀系数小，具有良好的热稳定性。

2、化学稳定性：石墨在室温下具有良好的化学稳定性，能抵抗酸、碱和的腐蚀。

3、润滑性：石墨的润滑性与二硫化钼相似，摩擦系数小于0.1。石墨的润滑性能随尺寸的变化，尺寸越大，摩擦系数越小，润滑性越好。

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